MOEMS相关论文
微型近红外光谱仪作为一种精密检测仪器以其体积小、成本低等特点被广泛应用于农业检测、工业生产、食品安全、地质勘探等领域。论......
对微光机电系统(MOEMS)兴趣的惊人增长吸引了包括众多研发中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇,如光......
自锁型2×2和1×4光开关是在{10}硅基片上采用各向异性湿刻蚀工艺技术在KOH中制备的微机械光开关。这种制各方法可以低成本一次投......
MOEMS扫描光栅微镜是光谱检测分析装备的新一代核心分光器件，它具有分光与扫描功能、体积小、成本低、能单管探测器替代阵列探测器......
随着光网络带宽的不断增长，以DWDM为代表的全光网技术快速发展，每根光纤可以进行从几百到上千波长的传输，每个波长可承载10Gbit/s以上......
快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关......
研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流......
谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的.研究并提出了一种新型的可应用于微......
利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在50V的调谐电压下,调谐范围为90nm.该技术可以用于制作1......
针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角......
研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内......
介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器．根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态......
介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理，并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素，在试验中对各向异性腐......
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(......
设计制作了一种用形状记忆合金驱动的周期可变光栅.用硅微细加工技术制作一种类似弹簧结构的光栅,将光栅与形状记忆合金相连.通上......
光谱仪作为一类重要的测试仪器,随着微光机电系统的发展,其微型化趋势日益明显.光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代,经过十......
研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性．对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析，分析表明可以通过对......
提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构，包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分．文中分析了器件的磁......
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用（110）硅片制作，其......
微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光......
描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微......
介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案, 展示了其在光通信领域的广阔应用前景.......
MOEMS声传感器是MEMS技术、微光学技术、声传感技术相结合发展的新一代声音传感技术,具有灵敏度高、抗电磁场和射频干扰等优点。针......
主要介绍了微光机电系统(MOEMS)在光通信领域中的应用,重点介绍了MOEMS光开关等器件应用在光通信网络中的原理及优势,并对微光机电......
微机电系统(MEMS)被认为是21世纪的一项“使能”技术,对航空工业的技术革新将产生重大影响。本文介绍了MEMS在航空领域的典型应用,......
基于全光网络的迅猛发展，本文简单介绍了波分复用器、光开关、光插／分复用器件方面的新型光无源器件，对器件原理、功能进行了阐述。文......
微型可编程衍射光栅是一种新型MOEMS器件,它的出现使得未来的天文装置具备了新的观测能力。可编程光栅是利用一组能够移出平面的平......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
阐述了国内MOEMS光开关的研制现状,列举了国内正在研制的各种MOEMS光开关的结构和性能参数,并且分析了影响光开关性能的各种因素。......
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型......
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建......
研制出光电集成加速度地震检波器及其数字信号处理系统。该检波器将光波导M-Z干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单......
介绍了主流显示器件的灰度调制方法,分析了现有方法的缺陷。以人眼视觉特性为基础建立数学模型,提出了一种灰度优化算法,并通过FPG......
光电器件的封接技术作为MOEMS技术中的重要组成部分,影响着光电器件的应用和发展。光窗是光电器件主要的封装形式之一,一直受到科......
针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析．从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性......
提出一种新型的光路结构，构成利用空间光路的干涉式MOEMS陀螺。介绍了此种陀螺的基本原理，并从提高基本探测极限的角度，对此种空间光......
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关，从运动机制上来说，是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果，......
InP基微光机电系统（MOEMS）可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象，其原因是在生长的时候，As原子进入InP梁，产生了内部梯度应力．使......
成功研制了GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器．该器件采用单悬臂梁结构，在6V的小调谐电压下，获得了31nm的连续调谐范围．在调谐过程中，峰值量......
通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术（MOEMS）制造的光栅平动式光调制器GMLM，它可以利用衍射原理对光进行动态调制，其设计适......
建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS......
提出一种基于MEMS的光栅光调制器，可用于投影显示等相关领域。介绍了其结构、工作原理及其加工流程，对器件进行傅里叶光学分析。分析......
对MOEMS静电旋转结构的Pull-in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构.摆动梳齿旋转结构不出现......
MOEMS（micro optical electronic mechanical system）微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波......
一、微光机电系统在民用领域的应用研究MOEMS在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、......
光开关是一种重要的全光通信器件.MOEMS光开关阵列因其串扰小、插入损耗小、消光比高、对波长和偏振不敏感、且稳定性好、造价低等......
